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    2. 
      

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        產品和服務
        真空紫外光源

       真空紫外光源

       

       

      1. 產品介紹:

      加拿大Resonance公司從20世紀70年代就開始和加拿大空間局(CSA)專業研發生產紫外光源,并在80-90年代和NASA有著密切的合作,現在生產的真空紫外光源是基于Ar,He,Xe的高功率高通量的三種型號紫外光源,波長從范圍117-172nm,F在廣泛用于土壤成分檢測、氣體檢測、工業、石油業等。

       

       

      2. 應用:

      a.  工業污染控制(廢水處理、廢氣處理)

      b.  表面改性(聚合物光蝕刻、光誘導化學蒸汽沉積)

      c.  做一些樣品的的光譜測試

      d.  樣品的透光性檢測

       

       

       

      3. 產品參數:

       

       

      型號

       

      KrLM-L XeLM-L

       

      KrLM-LQD XeLM-LQD

       

      KrLM-LQD12

      XeLM-LQD12

      ArCM-L KrCM-L XeCM-L

      ArCM-LPu KrCM-LPu XeCM-LPu

      ArCM-QDHP KrCM-QDHP XeCM-QDHP

      ArCM-LHP KrCM-LHP XeCM-LHP

       

      單位

      狀態

      Production

      Production

      Production

      Production

      PreProd

      PreProd

      Development

       

      峰值波長 Ar

       

       

       

      128

      128

      128

      128

      nm

      峰值波長 Kr

       

      117, 124

       

      117, 124

       

      117, 124

       

      117,124, 145

       

      145

       

      145

      117, 124,

      145

       

      nm

      峰值波長 Xe

      147

      147

      147

      147, 172

      172

      172

      147, 172

      nm

      VUV通量 Ar

      na

      na

      na

      5 x 1014

      1 x 1015

      6 x 1015

      2 x 1016

      P/sec/str

      VUV通量 Kr

      3 x 1015

      3 x 1015

      3 x 1015

      5 x 1015

      1 x 1016

      6 x1016

      2 x 1017

      P/sec/str

      VUV通量 Xe

      5 x 1015

      5 x 1015

      5 x 1015

      7 x 1015

      1.5 x 1017

      1 x 1017

      3 x 1017

      P/sec/str

      全角輸出圓錐

      45

      45

      45

      45

      40

      45

      45

      燈泡窗口位置

      -4

      +1

      10 - 30

      -4

      -1

      3 -20

      3

      cm

      Window CA

      0.8

      0.8

      0.8

      0.8

      0.8

      6 x 0.8

      6 x1.8

      cm

       

      調制和脈沖

       

      Mod/option

       

      Mod/option

       

      Mod/option

       

      Mod/option

      P

      2µsec/1KHz

       

      Mod/option

       

      CW

       

      標準法蘭

      2.75 CF

      2.75CF

      2.75CF

      2.75CF

      2.75CF

      4.5CF

      4.5CF

      英寸

      特點

      Opt. additional window or lens flange

      Rapid lamp interchange, closer to target

      Can be close to target deep in vac. chamber

      Continuum, good for absorption spectra

      Unique VUV pulses Photoionizatio n

       

      Higher intensity

       

      Higher intensity

       

       

      型號

      AaBC-DEF where Aa = gas e. g. Kr = Krypton, Xe = Xenon; B = Line or continuum e. g. L = line and C = mixed continuum and line or pure

      continuum, C=Window material e. g. M = Magnesium fluoride: -DEF is source configuration e. g. -L = standard lab model, QD = Quick

      Disconnect, LPu = lab model pulsed, 12QD = 12 inch re-entrant lamp with Quick disconnect flange, LHP = Lab High

      Power

      狀態

      Production = in production, PreProd = pre production prototype tested, Developmental: Still in development

      光譜類型

      Line: lines at 116.5 and 123.6 nm Krypton, Lines at 129 and 147 Xenon (Argon lines not transmitted by MgF2 window), Mixed: lines at 116.5 and 123.6 nm and Excimer continuum from 123.6 to 170nm which peaks at 145nm, Xenon line at

      147 and continuum pk 172

      Continuum: Excimer continuum: Ar 110 to 140 nm, Kr 123.6 to 170 nm Xe 145 to 200

      窗口位置

      Relative to the front the CF flange face. x.y are away from flange and +x.y depth into vacuum chamber from flange face.

       

      調制脈沖

      Mod/optional: Option to modulate from 1 to 1,000 Hz. P 2μsec/1KHz means that lamp has 2 microsecond pulses driven

      by DC pulse supply at

      about 1 KHz. Syncing this supply with an external waveform is possible, CW means continuous in time

       

      系統

      Complete system includes power supply, EMI shielded enclosure, Vacuum flange and NIST traceable test on vacuum monochromator

       


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